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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 5千-1万 | 
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 
日本爱发科ULVAC真空计传感器头WP-16
日本爱发科ULVAC真空计传感器头WP-16
传感器规格:如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
决定子交换更容易
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以输出2个设定点
SP1:压力为0至5 V输出(非输出)
电源电压:24 VDC输入
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
| 类型 | 传感器单元 | 
| 模型 | SP1 | 
| 兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 | 
准确性  | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) | 
| ±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
| ±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
| 工作温度范围 | 10~40℃ | 
| 测量值输出 | 非线性输出:0至5VDC(最大10V) | 
| 设定点 1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出:0至5VDC(最大10V) | 
| 控制输出信号 | 集电极开路输出,负逻辑 | 
| 错误信号 | |
| 设定值 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、错误、设定点 1、设定点 2 | 
| 电源电压 | DC24V±2V,90mA(最大) | 
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P(M2.6螺丝) | 
| 重量 | 190克/0.41磅(不包括传感器头) | 
标准配件  | 输入/输出连接器 1 个 | 
| 快速说明书 1份 | 
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